1．先把讀數(shù)顯微鏡進(jìn)行調(diào)零（注意要輕輕旋轉(zhuǎn)旋鈕，因?yàn)樽x數(shù)顯微鏡是高精度儀器且成本高，用力過(guò)大會(huì)導(dǎo)致精度降低）；

2．然后將打上壓痕的元件置于水平工作臺(tái)面上；

3．把讀數(shù)顯微鏡置于元件上（當(dāng)顯微鏡與工件置于一起時(shí)，手不要抖動(dòng)，因?yàn)轱@微鏡與工件的結(jié)合不是很緊固，稍不注意會(huì)造成讀數(shù)誤差），把透光孔對(duì)向光亮處；

4．通過(guò)旋轉(zhuǎn)螺母，使標(biāo)線沿X軸左右移動(dòng)；

5．標(biāo)線與壓痕的兩側(cè)分別相切，此時(shí)標(biāo)線走過(guò)的距離即為壓痕直徑；

6．把工件旋轉(zhuǎn)90°，再測(cè)量一次（但由于壓痕通常為不規(guī)則形狀，故要把工件旋轉(zhuǎn)90°，再測(cè)量一次取平均值），取兩次結(jié)果的平均值，即得到孔的zui終直徑。

7．記下讀數(shù)后，把顯微鏡歸零后收放到位置。